在運轉過程中，質譜真空泵和油會受到化學品的污染。所以，應確認泵是否清洗干凈，并采取足夠的措施防止這些有害物質對人員的傷害，維護完畢后，應檢查是否有泄露的地方，如有，應重新密封。不要接觸或吸入泵受高溫(260℃)產生的熱降解的產物，它們是很危險的，包括油、油脂和真空脂。
檢查前置真空泵油位
根據需要，可以在泵運轉的時候檢查油位，但如果要往里加油時則需斷開前置真空泵及相關部件與電源的連接。
1.透過前置真空泵的可視窗口檢查油位是否在低限以上，高限以下。
2.如果油位在低限或低于低限，打開加油孔，加油至高限，如加得過滿可從出口放掉點。
3.如果油污染嚴重時，放掉受污染的油，清洗泵后加入干凈的油。
更換前置真空泵油
1.開啟泵運轉10分鐘以加熱泵油，然后關泵(油加熱后可降低其粘性，比較容易倒出來)。
2.斷開泵和電路及真空系統的連接。
3.取下加油孔的塞子。
4.將泵放在一個適當的支撐物(如：凳子)上以方便泵的傾斜，在排油口下放合適的容器。取下排油口的塞子，讓油在重力的作用下流到容器中。
5.油受到污染時：
(1)取下加油孔的塞子，倒進干凈的油。
(2)重新連上泵和電路的連接，開泵運轉5-10分鐘。
(3)斷開泵和電路的連接，取下排油口的塞子，讓油流出來。
(4)重復上述步驟直到將泵清洗干凈。
6.塞上排油口的塞子，移掉支撐物，重新接上泵和電路及真空系統的連接 。
7.裝上新油，直到油位達到MAX位置附近。
8.等幾分鐘直到油抽到泵中，需要的話，可再添油(需再關泵)。塞上加油孔的塞子。
檢查和清潔前置真空泵入口過濾器
1.旋開入口轉接器，取下‘O’ ring，彈性擋圈和入口過濾器。
2.用適當的溶液清洗入口過濾器，陰干入口過濾器。
3.重新裝上入口過濾器、彈性擋圈、‘O’ring和入口轉接器。
清潔前置真空泵載氣濾網
1.取下固定墊圈。
2.取下金屬絲網及濾頭元件。
3.用合適的溶劑清洗金屬絲網及濾頭元件，陰干后重新裝在泵上。
4.重新固定好固定墊圈。
清洗馬達風扇周圍
1.關掉真空泵，斷開其與電源的連接。
2.利用干的布或毛刷**電動機的風扇罩和圍欄的污染物。
注意:
如果電動機的風扇罩及周圍不保持干凈的話，進入馬達的氣流將受到限制從而導致泵過熱。
真空泵應用
真空泵不單獨使用，一般與其他儀器配套使用。如真空抽濾、廢液抽取、旋轉蒸發儀、真空干燥箱、凍干機等設備都需要配上真空泵使用。
真空泵分類
真空泵一般非為干式和非干式。非干式也稱油式，無油式特點是是不用借助其他元器件而是依靠機器自身元件來達到需要的真空度。其中無油式劃分的種類也比較多。但是實驗室用的***多的、***看重的就是無油活塞式（多用于微生物檢測）和耐腐蝕隔膜式（多用于化學實驗室）兩種。活塞式一般和真空抽濾、微生物檢測、廢液抽取、真空干燥箱等設備配套使用。耐腐蝕隔膜式的一般和旋轉蒸發儀、真空干燥箱、離線濃縮等配套使用。而非干式的卻不同，他需要借助其他元件（如水和油）達到理想的真空度，所以非干式的一般指油泵和循環水泵，在實驗室中使用的***多的就是油旋片泵，這是一款比較小的‘他一般與凍干機、真空干燥箱等配套使用。像循環水式工業上使用較多，這里不贅述。
真空泵選型
首先要問清楚客戶是陪在什么儀器上使用的，有沒有腐蝕性？如果是陪在旋轉蒸發儀上就**是耐腐蝕隔膜式的因為和 旋轉蒸發儀配套使用的只有耐腐蝕隔膜式，并且旋轉蒸發儀上的氣體都具有腐蝕性；如果是干燥箱，那么要再了解一下真空度是多少，因為油泵的真空度要求比較高。而干式的就比較低；在真空泵要求比較低的情況下還可以了解一下客戶需要的流蘇和功率，這樣對比之下便可以確定下來是什么泵了；如果是抽濾泵，還要了解抽濾瓶是多大的，一般瓶子的容積式流速的3倍就可以了，不要太大，否則效果不好。
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