【*** 使用手冊】激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用激光的高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點和邁克耳遜干涉系統來測量位移的通用長度測量儀器，主要分為單頻的和雙頻兩種。　　使用試驗方法：目前用于測量長度的干涉儀，主要以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可以配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。　　注意事項：　　1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。　　2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。　　3、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發霉。　　4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學方法進行清潔，嚴禁丙酮擦拭。　　5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。　　6、在使用時應避免強旋、硬扳等情況，合理恰當的調整部件。　　7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。　　8、不用設備時需將激光器出光口前蓋，旋轉90度，防止外部粉塵進入激光頭內部。　　9、對儀器要小心輕放，避免強烈的沖擊震動。　　10、儀器不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。 有關激光干涉儀的操作及應用如何？

高精度激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

該儀器的基本操作：

1、開機：接通電源打開電源開關，1分鐘后開始檢測；

2、光路調整：旋上適合的標準鏡頭使標準鏡頭的星點對準尋星窗口中間的黑點，顯示器上顯示完整的圓形圖像；

3、透鏡面形檢測：調節沉座到被檢透鏡的適合尺寸，放上透鏡調節高度和透鏡調節鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合，觀測顯示器是否出現干涉條紋，條紋越少精度越高；

4、透鏡曲率半徑檢測：開啟標尺電源開關（清零），調整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條），凸透鏡向上調節高度（凹透鏡向下調節高度）到第2個星點出現的時候調節標準鏡頭調節旋鈕，使圖像出現貓眼像，標尺移動的數值就為被測透鏡的曲率半徑。

應用

（1）幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。

（2）位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可**限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到***佳精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。

（3）數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償 現在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的****已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不僅節約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節，并給出按相關標準處理的統計結果。

（4）雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。

（5）數控機床動態性能檢測 利用RENISHAW動態特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態特性分析，伺服驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性（低速爬行）分析等。

激光干涉儀為機床檢定提供了一種高精度儀器，它精度高，達到±1.1PPM（在0～40℃下），測量范圍大（線性測長40m，任選80m），測量速度快（60m/min），分辨率高（0.001μm），便攜性好。由于激光干涉儀具有自動線性誤差補償功能，可方便恢復機床精度，更受到用戶歡迎！