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【真空計】真空計四個常見問題

時間:2023-01-06 09:30:03 作者:河北航信儀器 點擊:

1.真空計在使用時應該注意的問題   【***使用手冊】真空計是用來測量真空度或氣壓的儀器,通常是利用不同氣壓下氣體某種物理效應的變化而進**壓的測量,在科研和工業生產中有非常廣泛的使用。按照真空計測量試驗方法的不同,可將真空計分為力學性能、氣體動力學和帶電粒子效應三種。  在真空計使用過程中也有一些需要注意的事項,否則會損壞儀器或者造成測量不準確?! ?、運輸及使用時必須嚴防倒置平臥,以防水銀倒回真空像皮管內堵塞毛細管影響測量精度?! ?、在測量時真空表為直立狀態,嚴禁將**氣體強烈地沖入真空系統以免擊碎玻璃管。  3、真空計內工作汞已經經過理化方法處理,所以有**的清潔性。若長期使用導致水銀氧化污染而影響測量精度,應及時聯系廠家修理?! ?、測量結束后,應用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統氣體隔離。這樣能保持真空計內水銀清潔,也能避免真空計被取下分離時大氣沖擊真空計使其破碎?! ?、如果沒有將真空計取下,應在機械真空泵停止后將機械泵與真空系統氣路斷開,并將機械泵內放入大氣以免機械泵油返入真空系統及真空計受到油的污染。  6、橫臥過程中可能出現水銀珠位于玻璃容器入口處,可將壓力計稍微倒轉收回水銀珠。  7、運輸和使用不慎會導致水銀珠進入并粘附于中間玻璃毛細管,可用機械真空泵對真空計抽氣并往復擺動真空計,使水銀珠回流?! ?、真空計使用完畢應將橡皮管扎緊,先關閉真空閥再關閉真空泵,以防真空泵內的油進入真空計和真空系統?! ?、要保持水銀的純度,水銀受污染會影響測量的精度?! ?0、真空計短期內不使用,可用鐵扎頭扎緊橡皮管,用紗布拭去橡皮管的油脂,再用塞頭堵塞內經,置于干燥、通風、避光處保存。 2.電阻真空計的試驗方法是怎樣的?

電阻真空計即采用電阻技術的真空計,一般先校準零點,再進行滿度校準。

試驗方法

金屬圓筒內部設有一白金細線,兩端連接電極。

通過電極給白金細線提供電流時,白金細線會發熱,氣體分子碰撞白金細線或熱輻射或通過固體熱傳導等方式,白金線的熱量會被奪走。

單位時間內以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態下時以下公式成立

Q=I2R=Qg+Qr+Qs(1)

Q是單位時間細線放出的熱量,R是細線的電阻,I是細線的電流。

氣體的平均自由行程比細線的直徑大很多時,Qg通過自由分子的熱傳導被表示為

Qg=αΛπda(T-T0)p(2)

如圖所示,T和T0分別為細線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細線長度。剩下的Qs和Qr可以分別表示如下

Qs=Sκ(T-T0)/L(3)

Qr=πdaσε(T4-T04)(4)

(3)是電極的熱傳導,其中S是細線的斷面積,κ是固體的傳導率,L是電極的長度。

(4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱為常數和固體輻射率。如果保持T和T0**,則(3)和(4)式為常數。如果用I02R表示**量的固體熱傳導和熱輻射,則式1可以表示為

I2R=Ap+I02R(5)

【真空計】真空計四個常見問題(圖1)

A=αΛπda(T-T0)(6)

I0是壓力為0的時候細線的電流,是彌補固體熱傳導和熱輻射而帶來的熱量損失。A式是不依存壓力的定數如果已知細線的電阻R,電流I0及定數A,則可以通過(5)式求得壓力P。

校準

一般先校準零點,再進行滿度校準。

(1)校準零點。

校準零點需對被測真空系統抽真空,一旦電離規測得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9X10^-2Pa),按"校零"按鈕,對應指示燈亮或快速閃爍,真空計自動校正零點,當顯示1.0^-1Pa時,表示規管零點已校準。

對于無自動零點校準的電阻真空計,可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調整。

(2)滿度校正。

校準完零點后,需對其滿度校正。按滿度校正過程要求,對被測爐腔放人大氣,確保被校電阻規所測位置為大氣狀態,在大氣壓下工作約10分鐘。

按"滿度"按鈕,對應指示燈亮或快速閃爍,真空計自動校正滿度,當顯示1.0^5Pa時,表示規管滿度已校準。

對于無自動滿度校準的電阻真空計,可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調整。

3.真空計按試驗方法可以分哪幾類? 真空計按試驗方法可以分哪幾類?

  真空計是按照真空計測量試驗方法所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(Bourdon)和薄膜電容規;利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規和熱電偶規;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。

  按真空計測量試驗方法分類

  直接測量真空計

  這種真空計直接測量單位面積上的力,有:

 ?。?)靜態液位真空計:利用U型管兩端液面差來測量壓力。

 ?。?)彈性元件真空計:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產生彈性變形來測量壓力值的大小。

  間接測量真空計

  壓力為10-1Pa時,作用在1cm2表面上力只有10-5N,顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于這類的真空計有:

 ?。?)壓縮式真空計:其試驗方法是在U型管的基礎上再應用波義耳定律,即將**量待測壓力的氣體,經過等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計測量,然后用體積和壓力的關系計算被測壓力。

  (2)熱傳導真空計:利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關這一試驗方法制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。

  (3)熱輻射真空計:利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關試驗方法。

 ?。?)電離真空計:利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產生的離子流隨電力變化的試驗方法。如:熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。

 ?。?)放電管指示器:利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質判定真空度,一般僅能作為定性測量。

 ?。?)粘滯真空計:利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦試驗方法。如振膜式真空計和磁懸浮轉子真空計。

 ?。?)場致顯微儀:以吸附和解吸時間與壓力關系計算壓力。

 ?。?)分壓力真空計:利用質譜技術進行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質譜計、回旋質譜計和射頻質譜。


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